PARKER派克隔膜閥

PARKER派克隔膜閥產(chǎn)品描述：

作為儀器儀表流體控制系統技術(shù)的行業(yè)*，派克漢尼汾945系列不銹鋼隔膜閥提供優(yōu)良的泄漏完整性，高循環(huán)壽命，以及低的粒子生成，從真空應用到3500 psig壓力范圍可用。它適用于超高壓半導體應用，包括高壓工藝線(xiàn)、氣體控制柜和閥門(mén)分配箱系統（VMBS）。 

派克漢尼汾945系列不銹鋼隔膜閥可以選擇手動(dòng)或氣動(dòng)操作。這兩個(gè)選項都是內部無(wú)彈簧和無(wú)螺紋設計，這使顆粒產(chǎn)生和捕獲更小化，從而減少了過(guò)程污染。閥門(mén)的嚴格設計控制閥座和膜片的應力，提供穩定和免維護的使用壽命。該閥還具有壓縮構件，其均勻地加載密封件，而不需要螺紋部件或壓接操作。

945系列不銹鋼隔膜閥沾濕組件由特殊金屬制造，以提供優(yōu)異的耐腐蝕性和泄漏完整性。閥門(mén)本體是由Veriflo的的內部電解拋光316L不銹鋼材質(zhì)生產(chǎn)而成。膜片是一種高強度鈷基合金。閥座材料可在PCTFE，PEEK™ 或Vespel® 這些選項中選擇，這允許945系列用于廣泛的危險和惰性工藝流體。這些材料，結合閥門(mén)嚴格的設計特點(diǎn)，在工作壓力高達3500 psig時(shí)，具有很高的耐腐蝕性和優(yōu)良的穩定性。氣動(dòng)選項可以配置為提供具有限位開(kāi)關(guān)的開(kāi)閉位置指示。

945個(gè)系列不銹鋼隔膜閥門(mén)都是在100級潔凈室制造的。內部（閥座）密封和金屬外部密封是使用質(zhì)譜儀氦氣泄漏測試，以實(shí)現在要求UHP超高純應用環(huán)境的使用性能和穩定性。 

PARKER派克隔膜閥特點(diǎn)/優(yōu)勢： 

• 在管材上加工，這允許改進(jìn)尺寸控制。 
• 5微米（Ra）電拋光表面光潔度 
• 高循環(huán)壽命（包括腐蝕性應用工況） 
• 內部無(wú)彈簧和無(wú)螺紋設計使顆粒產(chǎn)生和氣體捕獲更小 
• 全功能化設計從真空到300psig可用
• 內部泄漏率：小于1×10-9 SCC/SEC 
• 外部泄漏率：小于2×10-10SCC/SEC
• 75 PSIG常開(kāi)常關(guān)氣動(dòng)AOP執行壓力（大值） 

PARKER派克隔膜閥典型應用： 

• 腐蝕性和特殊性氣體 
• 半導體設備 
• 半導體設備二次配管
• 氣體控制柜 
• 閥門(mén)分配箱系統（VMB）

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